Изделия из газофазного вольфрама

Предприятие выпускает трубы, тигли, сетчатые элементы и пр. изделия из вольфрама, методом газофазного осаждения (CVD). Сущность газофазного метода состоит в том, что газовую смесь, содержащую пары летучих соединений, пропускают над нагретой поверхностью, где происходит реакция восстановления или термической диссоциации с образованием металла. Поскольку материал, на который осаждается покрытие, имеет более высокую температуру, чем проходящая над ним газовая смесь, химическое равновесие в газовой фазе нарушается и реакция носит направленных характер. При осаждении из газовой фазы в качестве исходных продуктов используют галоидные соединения, в частности гексафторид вольфрама- WF₆. Газообразный WF₆ в смеси с водородом подают в реакционную камеру, выполненную в виде трубы из кварца. Подложку, помещенную в камеру, нагревают и над ней пропускают смесь газов.

Отличительные особенности

Основными достоинствами газофазного метода получения изделий являются:

возможность получения вольфрамовых осадков высокой чистоты (до 99,999% масс);
возможность получения изделий с практически теоретической плотностью (19,3 г/см³);
возможность регулирования структуры осадка по его тощине;
возможность формирования осадков сложной геометрической формы с высокой степенью чистоты обработки внутренней поверхности;
возможность получения изделий и покрытий на основе вольфрама (W-Re, W-Mo, W-Nb);
возможность получения вольфрамовых осадков различного изотопного состава.

Примесный состав изделий из газофазного вольфрама

Суммарное содержание примесей в пробе вольфрама (без учета содержания H,C,N,F,P,S,Cl) не более 0,001% масс

Элемент	ppm масс	Элемент	ppm масс	Элемент	ppm масс
H	ND	Se	<0,02	Eu	<0,3
Li	<0,001	Br	<0,02	Gd	<0,5
Be	<0,001	Rb	<0,02	Tb	<0,08
B	<0,001	Sr	<0,05	Dy	<0,3
Na	<0,05	Y	<0,02	Ho	<0,1
Mg	<0,05	Zr	<0,06	Er	<0,2
Al	<0,01	Nb	<0,06	Tm	<0,1
Si	<0,1	Mo	<0,2	Yb	<0,5
K	<0,03	Ru	<0,02	Lu	<0,1
Ca	<0,2	Pd	<0,02	Hf	<0,3
Sc	<0,01	Ag	<0,1	Ta	<0,5
Ti	<0,01	Cd	<0,1	W	ОСНОВА
V	<0,4	In	<0,1	Re	<0,5
Cr	<0,08	Sn	<0,3	Os	<0,5
Mn	<0,01	Sb	<0,1	Ir	<0,3
Fe	<0,02	Te	<0,2	Pt	<0,5
Co	<0,01	Cs	<0,1	Au	<0,2
Ni	<0,01	Ba	<0,1	Hg	<0,4
Cu	<0,05	La	<0,05	Tl	<0,05
Zn	<0,02	Ce	<0,05	Pb	<0,2
Ga	<0,02	Pr	<0,02	Bi	<0,03
Ge	<0,02	Nd	<0,05	Th	<0,03
As	<0,02	Sm	<0,05	O	ND
C	ND	N,P	ND	F	<15

Характеристики вольфрама

Свойство	Значение
Микротвердость, кГ/мм²	430±25
Размер зерна, мкм	100±15
Плотность, гр/см³	19,3
Степень чистоты, %масс	99,999
Сечение захвата тепловых нейтронов (для W¹⁸⁴), ,барн	2,0±0,3