Предприятие выпускает трубы, тигли, сетчатые элементы и пр. изделия из вольфрама, методом газофазного осаждения (CVD). Сущность газофазного метода состоит в том, что газовую смесь, содержащую пары летучих соединений, пропускают над нагретой поверхностью, где происходит реакция восстановления или термической диссоциации с образованием металла. Поскольку материал, на который осаждается покрытие, имеет более высокую температуру, чем проходящая над ним газовая смесь, химическое равновесие в газовой фазе нарушается и реакция носит направленных характер. При осаждении из газовой фазы в качестве исходных продуктов используют галоидные соединения, в частности гексафторид вольфрама- WF6. Газообразный WF6 в смеси с водородом подают в реакционную камеру, выполненную в виде трубы из кварца. Подложку, помещенную в камеру, нагревают и над ней пропускают смесь газов.
Основными достоинствами газофазного метода получения изделий являются:
Суммарное содержание примесей в пробе вольфрама (без учета содержания H,C,N,F,P,S,Cl) не более 0,001% масс
Элемент | ppm масс | Элемент | ppm масс | Элемент | ppm масс |
---|---|---|---|---|---|
H | ND | Se | <0,02 | Eu | <0,3 |
Li | <0,001 | Br | <0,02 | Gd | <0,5 |
Be | <0,001 | Rb | <0,02 | Tb | <0,08 |
B | <0,001 | Sr | <0,05 | Dy | <0,3 |
Na | <0,05 | Y | <0,02 | Ho | <0,1 |
Mg | <0,05 | Zr | <0,06 | Er | <0,2 |
Al | <0,01 | Nb | <0,06 | Tm | <0,1 |
Si | <0,1 | Mo | <0,2 | Yb | <0,5 |
K | <0,03 | Ru | <0,02 | Lu | <0,1 |
Ca | <0,2 | Pd | <0,02 | Hf | <0,3 |
Sc | <0,01 | Ag | <0,1 | Ta | <0,5 |
Ti | <0,01 | Cd | <0,1 | W | ОСНОВА |
V | <0,4 | In | <0,1 | Re | <0,5 |
Cr | <0,08 | Sn | <0,3 | Os | <0,5 |
Mn | <0,01 | Sb | <0,1 | Ir | <0,3 |
Fe | <0,02 | Te | <0,2 | Pt | <0,5 |
Co | <0,01 | Cs | <0,1 | Au | <0,2 |
Ni | <0,01 | Ba | <0,1 | Hg | <0,4 |
Cu | <0,05 | La | <0,05 | Tl | <0,05 |
Zn | <0,02 | Ce | <0,05 | Pb | <0,2 |
Ga | <0,02 | Pr | <0,02 | Bi | <0,03 |
Ge | <0,02 | Nd | <0,05 | Th | <0,03 |
As | <0,02 | Sm | <0,05 | O | ND |
C | ND | N,P | ND | F | <15 |
Характеристики вольфрама
Свойство | Значение |
---|---|
Микротвердость, кГ/мм2 | 430±25 |
Размер зерна, мкм | 100±15 |
Плотность, гр/см3 | 19,3 |
Степень чистоты, %масс | 99,999 |
Сечение захвата тепловых нейтронов (для W184), ,барн | 2,0±0,3 |